SEMI F72 - 不動態化された 316L ステンレス鋼コンポーネントの接液面の酸化層のオージェ電子分光法 (AES) 評価の試験方法 -

Abstract

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この文書の目的は、テスト方法を定義することです。 不動態化された 316L ステンレス鋼の表面組成を特徴付ける 高純度ガスへの設置を検討しているコンポーネント 流通システム。この試験方法は、濡れたものに適用することを目的としています。 ステンレス鋼のチューブ、継手、バルブ、その他のコンポーネントの表面を保護します。 パッシベーションの有効性の尺度。

この文書は、接液面の試験方法を定義します。 ステンレス鋼のチューブ、継手、バルブ、その他のコンポーネントの 不動態化の有効性の尺度としての表面および表面近くの組成 プロセス。

このテスト方法の目的は、一般的なテスト方法を説明することです。 再現性を達成するための機器パラメータと条件のセット クロムを豊富に含む不動態酸化物層内の測定。

この文書では、特性を評価するための試験方法について説明します。 ステンレスのクロム富化酸化物層の組成と厚さ 鋼の表面や、チューブ、継手、バルブなどの表面の汚染を検出します。 およびその他のコンポーネント。この手順には、 オージェ電子分光法 (AES) による表面元素組成。これ この手順では、深さ組成プロファイルの試験方法も説明しています。 Cr、Fe、Ni、O、C は、受け取ったままの表面から酸化層を通過し、 そして母材金属まで伸びています。この測定により酸化物の厚さが得られます 不動態化領域全体のクロム濃縮情報。

参照SEMI規格（別途購入）

なし。

改訂履歴

SEMI F72-0214 (再承認 0221)

SEMI F72-0214 (技術改訂)

SEMI F72-0309 (技術改訂)

SEMI F72-1102 (初公開)

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