SEMI F73 - ステンレス鋼部品の接液面状態の走査型電子顕微鏡 (SEM) 評価の試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2014 年 8 月 25 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2014 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能です。初版発行は 2002 年 11 月。以前は 2009 年 3 月に出版されました。

この文書は、高純度ガス分配システムへの設置を目的としたステンレス鋼部品の接液面を試験するための統一手順を定義しています。この手順では、濡れた表面に現れる可能性のある微細な表面欠陥や汚染物質の発生、頻度、場合によってはその正体を特徴づけます。この試験方法の結果と、プロセスガスの汚染または高純度ガス分配システムが使用されるプロセスでの製品収率との間には直接の相関関係がなかったことに留意すべきである。この試験方法の適用は、コンポーネントの認定を目的として、この方法を使用するさまざまなユーザーの間で比較可能で再現可能な結果が得られるようにすることを目的としています。

この方法の目的は、表面状態に関する重要なパラメータの正確かつ再現可能な測定を達成するための機器パラメータと条件の一般的なセットを記述することです。

この手順は、ステンレス鋼のチューブ、継手、バルブ、その他のコンポーネントの濡れた表面に適用され、表面仕上げと洗浄プロセスの有効性を判断します。この技術では、ピット、介在物、介在物ストリンガー、傷、残留プロセスマーク、粒界、濡れた表面の汚染などの表面欠陥の計数について説明します。ただし、サンプル調製中に生じた表面損傷は、そのような評価から除外されます。

なし。

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