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SEMI F80 - ガス供給システムのガス交換/パージ効率を測定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書は、ガス供給システムのガス交換/パージ効率を決定するためのテスト方法のガイドです。
従来の金属面シールと表面実装ガス供給システムの両方をカバーします。
この試験方法は、半導体製造施設および同等の研究開発分野で使用されるすべてのタイプの高純度ガス供給システムに適用されます。
参照されるSEMI規格
なし。
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