SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F05300 - SEMI F53 - サーマルマスフローコントローラーの電磁感受性を評価するための試験方法
F05400 - SEMI F54 - 凝縮核計数器の計数効率を測定するための試験方法
SEMI F54 - 凝縮核計数器の計数効率を測定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F05500 - SEMI F55 - マスフローコントローラーの耐食性を決定するための試験方法
F05600 - SEMI F56 - マスフローコントローラーの定常状態電源電圧の影響を測定するための試験方法
F05700 - SEMI F57 - 超純水および液体化学薬品供給システムで使用される高純度ポリマー材料およびコンポーネントの仕様
F05800 - SEMI F58 - 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) による表面実装型および従来のガス供給システムの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法
F05900 - SEMI F59 - フィルターまたはガスシステムの流れの圧力降下曲線を決定するための試験方法
F06000 - SEMI F60 - 不動態化された 316L ステンレス鋼部品の接液面の表面組成の ESCA 評価の試験方法
F06100 - SEMI F61 - 半導体超純水システムの設計および運用ガイド
SEMI F61 - 半導体超純水システムの設計および運用ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F06200 - SEMI F62 - 周囲温度およびガス温度の影響に対するマスフローコントローラの性能特性を決定するための試験方法
F06300 - SEMI F63 - 半導体プロセスで使用される超純水のガイド
SEMI F63 - 半導体プロセスで使用される超純水のガイド セール価格Member Price: ¥252
Non-Member Price: ¥62,700
F06400 - SEMI F64 - マスフローコントローラーの表示流量および実際の流量に対する圧力の影響を測定するための試験方法
F06500 - SEMI F65 - メートル法 PFA チューブで使用されるダイヤフラムバルブの取り付けベースの寸法仕様
F06600 - SEMI F66 - 液体化学薬品用ステンレス鋼容器のポートマーキングおよびシンボルの仕様
F06700 - SEMI F67 - 不活性ガス精製器の能力を決定するための試験方法
SEMI F67 - 不活性ガス精製器の能力を決定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
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