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SEMI F54 - 凝縮核計数器の計数効率を測定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 4 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2000 年 6 月に出版されました。以前は 2010 年 11 月に出版されました。
ガスの粒子仕様には、指定された計数効率を備えた凝縮核計数器 (CNC) の使用が必要です。この文書は、CNC の計数効率を決定するためのテスト方法を提供します。
この文書は、(1) 大気圧 (1 × 105 Pa) で空気中に浮遊するサイズ 0.01 マイクロメートル以上の塩化ナトリウム (NaCl) 粒子からなるエアロゾル標準を生成する方法、(2) 粒子のサイズと濃度を制御する方法を提供します。 (3) エアロゾルを使用して粒子サイズの関数として CNC の計数効率を決定します。この方法は、0.01 マイクロメートル以上の低いサイズ感度を持つ CNC に適しています。
参照されるSEMI規格なし。
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