SEMI F55 - マスフローコントローラーの耐食性を決定するための試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 7 月 6 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2000 年 6 月に出版されました。以前は 2012 年 4 月に出版されました。

マスフローコントローラー (MFC) は、不利な条件下で腐食性ガスを制御するためによく使用されます。この試験方法は、腐食による故障に対する相対的な耐性に基づいて MFC 設計を区別するのに役立つことを目的としています。

この試験は、HCl などの腐食性ガスが大気中の湿気などの酸化剤によって汚染された場合に生じる腐食の影響を示すことを目的としています。このテストの目的では、HCl が好ましいテストガスですが、このテストは他のガスでも実行できます。この試験方法では、MFC の腐食性ガス暴露試験について説明します。このテストは、半導体産業のプロセス装置やガス システム内で見られる条件をシミュレートしながら、腐食を促進することを目的としています。腐食と性能の関係は MFC の設計によって異なる場合があるため、腐食は直接測定されません。腐食の影響は、MFC の校正やその他の動作パラメータの変化を観察することによって検出されます。

SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様

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