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SEMI F67 - 不活性ガス精製器の能力を決定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 6 月 4 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2013 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2001 年 11 月。以前は 2008 年 11 月に出版されました。
この文書の目的は、不活性ガス精製装置の不純物除去能力を定量化するための試験方法を定義することです。
破過点におけるガス精製器の不純物容量を決定します。容量試験は、純粋なゼロガスに特定のガス状不純物を ppm レベルで添加し、活性不純物種について試験精製装置の流出液を監視することによって行われます。
この文書は、入口純度が 99.9995% 以上である使用時点 (POU) 不活性ガス精製装置を対象としています。
参照されるSEMI規格SEMI E29 — マスフローメータおよびマスフローコントローラで使用される標準化された圧力、温度、密度、および流量単位のガイド
SEMI F6 — 有害ガス配管システムの二次封じ込めに関するガイド
SEMI F22 — ガス供給システムのガイド
SEMI F33 — 大気圧イオン化質量分析計 (APIMS) の校正のための試験方法
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