SEMI F57 - 超純水および液体化学薬品供給システムで使用される高純度ポリマー材料およびコンポーネントの仕様 -

Abstract

この規格は、UPW 分配システムでの超純水 (UPW) の輸送に適した超高純度 (UHP) ポリマー材料およびコンポーネントの最小性能要件を指定します。 UPW システムの詳細については、SEMI F61、SEMI F63 を参照してください。

また、UHP 液体化学分配システム (LCDS) で使用されるポリマー材料およびコンポーネントの使用に関する推奨事項も提供します。この仕様で取り上げられるこのような分配システムには、バルク供給、施設分配、およびプロセス装置のアプリケーションが含まれます。

この仕様の要件は、高温で UPW を使用して材料とコンポーネントをテストすることに重点を置いていますが、腐食剤や酸化剤など、他の適用可能な化学薬品も存在する可能性があり、この仕様のユーザーはこれらを検討することを検討します。ただし、考えられる液体化学の流れごとに膨大な数のテストパラメータを定義することは、この仕様の範囲を超えています。それにもかかわらず、この仕様は、サプライヤーとエンドユーザーが UPW 以外の化学物質または他の温度条件でテストし、同時にこの仕様内の要件とは別に独自の内部制限を設定する可能性を排除したり制限したりするものではありません。 。

この仕様は、ポリマー材料とコンポーネントの性能と検証に焦点を当てています。ポリマー材料およびコンポーネントがこの仕様の意図を確実に満たすための運用要件が、必要に応じて提供されます。概要リストは次のとおりです。

• コンプライアンスの定量的測定
• 金属の寄与制限
• イオン寄与限界
• 総有機 (酸化性) 炭素寄与制限
• 表面粗さの限界
• コンプライアンスの定性的尺度
• 機械的性質
• 物理的特性
• 耐薬品性
• 信頼性
• トレーサビリティ要件
• 梱包要件
• 認証

この仕様は、表 1 に示されている項目で構成されるポリマー材料およびコンポーネントに関するものですが、これらに限定されないものは、以下に挙げる種類の液体化学物質を含み、供給するように設計されています。

• UPW
• 酸、塩基および酸化剤
• 塩水溶液
• 溶剤

この規格で指定された要件を満たすポリマー材料およびコンポーネントは、¶ 1.3 で説明されている UPW および LCDS に適しているとみなされるものとします。 LCDS でのポリマーの使用に関する追加要件については、SEMI C90 を参照してください。

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C69 — ポリマーペレットの表面積を測定するための試験方法
SEMI C90 — 薬液供給システムで使用されるパーフルオロアルコキシ (PFA) 材料を試験するための試験方法と仕様
SEMI E49 — 高純度および超高純度の配管性能、サブアセンブリ、および最終アセンブリに関するガイド
SEMI F40 — 化学試験用の液体化学物質分配コンポーネントとニートポリマーの準備の実践
SEMI F61 — 半導体超純水システムの設計と運用に関するガイド
SEMI F63 — 半導体プロセスで使用される超純水のガイド

改訂履歴
SEMI F57-0622 (技術改訂)
SEMI F57-0120 (技術改訂)
SEMI F57-0314 (技術改訂)
SEMI F57-0312 (技術改訂)
SEMI F57-0301 (技術改訂)
SEMI F57-1000 (初公開)

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