SEMI F60 - 不動態化された 316L ステンレス鋼部品の接液面の表面組成の ESCA 評価の試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2014 年 8 月 25 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2014 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能です。初版は 2001 年 3 月に出版されました。以前は 2011 年 6 月に出版されました。

この文書の目的は、高純度ガス分配システムへの設置を検討している不動態化された 316L ステンレス鋼コンポーネントをテストする方法を定義することです。この試験方法を適用すると、この設置の認定を目的として試験されたコンポーネント間で同等の結果が得られることが期待されます。

この文書は、不動態化プロセスの有効性の尺度として、ステンレス鋼のチューブ、継手、バルブ、およびその他のコンポーネントの内面をテストして、表面の組成と化学的性質を測定する方法を定義します。

この方法の目的は、クロム富化酸化物層内の重要な表面化学の正確かつ再現可能な測定を達成するための機器パラメータおよび条件の一般的なセットを記述することである。

この文書では、チューブ、継手、バルブ、およびその他のコンポーネントのすべてのクロム富化ステンレス鋼表面を含む、「受け取ったままの」表面組成および化学的性質を特徴付ける試験方法について説明します。この手順には、X 線光電子分光法 (XPS) とも呼ばれる化学分析用電子分光法 (ESCA) による、総 Cr/Fe 比、CrOX/FeOX 酸化物種比、および表面元素組成の測定が含まれます。

この文書には、受け取ったままの表面から酸化物層を通って母材金属まで広がる Cr、Fe、Ni、O、および C の組成 ESCA 深さプロファイル測定の試験方法も記載されています。深さプロファイル測定では、不動態化プロセスの結果として生じる改質された表面層全体の酸化物の厚さと相対組成を評価します。

SEMI F19 — ステンレス鋼部品の接液面の表面状態に関する仕様

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