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SEMI F53 - サーマルマスフローコントローラーの電磁感受性を評価するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
の この文書の目的は、構造化されたテスト方法を定義することです。 マスフローコントローラー (MFC) の電磁感受性を評価します。
これ ドキュメントには、評価に使用できる要件とテスト方法が含まれています。 MFC が電磁波にさらされたときにその機能特性を維持できるかどうか 業界で一般的な干渉 (EMI) レベル。テスト方法は両方をカバーします MFC の放射磁化率 (RS) と伝導磁化率 (CS) EMIにさらされています。電磁感受性要件が抽出されます MIL-STD-461G に準拠しており、試験方法は RS103 と CS106 を組み合わせたものです。 MIL-STD 461G で定義された試験方法。
参照されるSEMI規格
なし。
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