SEMI F61 - 半導体超純水システムの設計および運用ガイド -

Abstract

このガイドは、SEMI F63 と組み合わせて使用​​する必要があります。 セミF75。これらのガイドは、施設エンジニア向けの推奨事項をまとめて提供します。 の確立を担当するその他の製造専門家 超純水 (UPW) の品質を監視および制御するプログラム システムから使用時点 (POU) まで。

このガイドでは、エンジニアリングとコンポーネントについて説明します。 半導体製造で使用される UPW システムの要件。それは 詳細な仕様を開発するための共通の基盤を確立することを目的としています。 UPW および高温超純水の設計、運用、認証、監視 水（HUPW）システム。

このガイドは、以下で使用される高度な UPW システムに適用されます。 高純度水を供給する半導体製造設備 ウェーハ処理、化学物質の希釈、その他の設備用途に最適です。これ ガイドでは、UPW システム コンポーネントの識別に使用される定義を提供します。 半導体設備用水に関連するその他の一般的に使用される用語 システム。

このガイドでは、他の関連する SEMI 規格への参照を提供します。 UPW システムの品質と信頼性を保証します。このガイドは論理的には UPW 用に開発された一連の SEMI 規格に従います。 SEMIを含む UPW の品質を定義する規格である F63、および UPW の品質を定義する規格である SEMI F75 UPWを監視します。

このガイドでは、設計および 処理プラント、配水システム、および 半導体製造ツールの接続。

このガイドでは、次のテストと事前資格認定について説明します。 UPWシステムの機器および流通に使用される高純度ポリマー材料。

このガイドでは、サイト ユーティリティの最小限の定義を提供します。 UPW システムをサポートするために必要です。

この規格は建設に関する指針を提供します。 新しい UPW システムまたは最近アップグレードされた UPW システムの認定と試運転。

この規格は、メンテナンス、運用、 UPW システムの安全性と冗長性。このガイドはさらなる品質を提供します イオン交換樹脂やフィルター媒体などの重要なコンポーネントに関する情報。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI F19 — 表面状態の仕様 ステンレス鋼部品の接液面

SEMI F57 — ポリマー材料およびポリマー材料の仕様 超純水および薬液供給システムで使用されるコンポーネント

SEMI F63 — で使用される超純水システムのガイド 半導体加工

SEMI F75 — 超純水の品質監視ガイド 半導体製造で使用される

改訂履歴

SEMI F61-0521 (技術改訂)

SEMI F61-0617 (完全な書き換え)

SEMI F61-0301 (再承認 0309)

SEMI F61-0301 (初公開)

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