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SEMI F62 - 周囲温度およびガス温度の影響に対するマスフローコントローラの性能特性を決定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2001 年 7 月に出版されました。以前は 2011 年 11 月に出版されました。
この文書の目的は、ガス分配システムへの設置を検討しているマスフローコントローラー (MFC) のテスト方法を定義し、MFC の表示流量と実際の流量に対する周囲温度とガス温度の影響を定量化することです。
この試験方法は、最大 30 slpm の流量の金属およびポリマーでシールされた MFC に適用されます。テストには以下にリストされているものが含まれており、次の順序で実行されます。
- 周囲温度の影響 (定常状態および過渡状態)
- ガス温度の影響 (定常状態および過渡状態)
なし。
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