SEMI F65 - メートル法 PFA チューブで使用されるダイヤフラムバルブの取り付けベースの寸法仕様 -

Abstract

この仕様は世界液体化学薬品分配システム委員会によって技術的に承認されており、日本の液体化学薬品分配システム委員会が直接責任を負っています。最新版は、2001 年 8 月 3 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2001 年 9 月に www.semi.org で入手可能でした。 2001 年 11 月に出版される予定です。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この文書では、半導体およびフラット パネル ディスプレイ製造用の薬液分配施設およびプロセス装置において、メトリック テトラフルオロエチレン パーフルオロアルキルビニルエーテル コポリマー (PFA) チューブで使用される取り付けベースの寸法とボルトの隙間穴のサイズ、およびダイヤフラム バルブの穴の位置を指定します。

将来の開発の妨げを回避し、ダイヤフラムバルブの互換性を促進するために、この文書の範囲は、§ 2 で指定されているように制限されています。

この文書は、表 1 にリストされているサイズのチューブ内の液体化学薬品の流れを遮断および/または調整するように設計されたダイヤフラムを備えた二方バルブの取り付けベースに適用されます。

バルブはポリテトラフルオロエチレン (PTFE) や PFA などの材料で作られており、耐食性が高く、流体への汚染の影響が少ないです。

なし。

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