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SEMI F66 - 液体化学薬品用ステンレス鋼容器のポートマーキングおよびシンボルの仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は世界液体化学薬品分配システム委員会によって技術的に承認されており、日本の液体化学薬品分配システム委員会が直接責任を負っています。最新版は、2001 年 8 月 3 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2001 年 9 月に www.semi.org で入手可能でした。 2001 年 11 月に出版される予定です。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書は、半導体およびフラットパネルディスプレイの製造装置および薬液供給施設で使用される薬液用ステンレス容器のポートマークとシンボルを規定します。
この文書では、容器への液体化学物質の入口または容器からの液体化学物質の出口として容器内に貫通するチューブを備えたステンレス鋼容器について説明します。
チューブ端（ポート）にカップリング（クイックカップリング）を使用している容器は対象外となります。
参照されるSEMI規格なし。
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