SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F02300 - SEMI F23 - グレード 10/0.2 水素の粒子濃度の仕様
SEMI F23 - グレード 10/0.2 水素の粒子濃度の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F02400 - SEMI F24 - グレード 10/0.2 不活性特殊ガスの粒子濃度の仕様
SEMI F24 - グレード 10/0.2 不活性特殊ガスの粒子濃度の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F02500 - SEMI F25 - グレード 10/0.2 酸化剤特殊ガスの粒子濃度の仕様
SEMI F25 - グレード 10/0.2 酸化剤特殊ガスの粒子濃度の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F02600 - SEMI F26 - グレード 10/0.2 有毒特殊ガスの粒子濃度の仕様
SEMI F26 - グレード 10/0.2 有毒特殊ガスの粒子濃度の仕様 セール価格Member Price: ¥113
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F02700 - SEMI F27 - 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) によるガス分配システムおよびコンポーネントの水分相互作用および含有量の試験方法
F02800 - SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子発生を測定するための試験方法F02800 - SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子発生を測定するための試験方法
SEMI F28 - プロセスパネルからの粒子発生を測定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F02900 - SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効率の試験方法
SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効率の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
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F03000 - SEMI F30 - 設置場所での微量ガス不純物および微粒子の浄化装置性能試験の試験方法
F03100 - SEMI F31 - バルク化学物質分配システムのガイド
SEMI F31 - バルク化学物質分配システムのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F03200 - SEMI F32 - 高純度遮断バルブの流量係数を決定するための試験方法
SEMI F32 - 高純度遮断バルブの流量係数を決定するための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
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F03300 - SEMI F33 - 大気圧イオン化質量分析計 (APIMS) の校正のための試験方法
SEMI F33 - 大気圧イオン化質量分析計 (APIMS) の校正のための試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F03400 - SEMI F34 - 液体化学パイプのラベル貼付ガイド
SEMI F34 - 液体化学パイプのラベル貼付ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F03500 - SEMI F35 - 非侵襲的酸素測定を使用した超高純度ガス供給システム統合検証のための試験方法
F03600 - SEMI F36 - ガス分配コンポーネントの寸法と接続に関するガイド
SEMI F36 - ガス分配コンポーネントの寸法と接続に関するガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
F03700 - SEMI F37 - ガス分配システムコンポーネントの表面粗さパラメータを決定するための試験方法
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