Japan Store
SEMI F24 - グレード 10/0.2 不活性特殊ガスの粒子濃度の仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1997年6月。以前は 2012 年 7 月に出版されました。
この文書の目的は、10/0.2 グレードの不活性特殊ガスの最大許容粒子濃度を設定し、その検証のための参考方法を説明することです。
この文書は、特殊ガス システムを通じて最大 8 × 105 Pa (8 気圧) の圧力で供給される不活性ガスにのみ適用されます。この方法は、8 × 105 Pa (8 気圧) を超える圧力の高圧シリンダーからの直接サンプリングには適していません。この文書は以下のガスにのみ適用されます。
・アルゴン(Ar)
• ハロカーボン 23 (CHF 3 )
• ハロカーボン 116 (C 2 F 6 )
• ヘリウム (He)
• 窒素 (N 2 )
・六フッ化硫黄（SF 6 ）
・テトラフルオロメタン(CF 4 )
参照されるSEMI規格SEMI C6.5 — パイプラインガスとして供給されるグレード 10/0.2 の窒素 (N2) およびアルゴン (Ar) の粒子仕様
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件