SEMI F30 - 設置場所での微量ガス不純物および微粒子の浄化装置性能試験の試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 2 月 2 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 5 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1998 年に出版されました。以前は 2010 年 7 月に出版されました。

この試験方法の目的は、分析機器を使用してガスの不純物と粒子を顧客の仕様に合わせて測定することにより、始動時の精製装置の性能を検証することです。特定の入口チャレンジや入口測定が必要な場合は、事前にお客様と話し合う必要があります。入口の不純物は、百万分率 (ppm) または十億分率 (ppb) の分析装置で測定する必要があります。この手順は、定格流量が 50 リットル/分 (LPM) を超える大規模バルク精製装置にのみ適用されます。

窒素、アルゴン、ヘリウム、酸素、水素サービスにおける大規模精製装置の性能の検証。検証テストは、設置されたフィルター モジュールの下流で測定されたガス状不純物とサブミクロン サイズの粒子の ppb またはサブ ppb レベルで行われます。テストは、精製器の達成可能な最大流量、および/または最大定格流量の顧客指定の割合で行われます。

SEMI F58 — 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) による表面実装型および従来のガス供給システムの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法
SEMI F68 — 浄化装置の効率を決定するための試験方法
SEMI F112 — キャビティリングダウン分光法 (CRDS) による表面実装型および従来のガス供給システムの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法

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