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SEMI F37 - ガス分配システムコンポーネントの表面粗さパラメータを決定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1999 年 2 月に出版されました。以前は 2011 年 6 月に出版されました。
この試験方法の目的は、ガス分配システムのコンポーネントで測定される表面粗さパラメータの数値を決定する方法を定義することです。このテスト方法の適用は、このテスト方法のユーザー間で比較可能なデータを生成することを目的としています。
この文書は、ガス分配システムコンポーネントの機械的プロファイル表面粗さ測定の方法、測定装置、および試験条件を規定します。この試験方法では、特定の表面粗さパラメータの数値を要求したり推奨したりしません。この試験方法は、ガス分配システムのコンポーネントの仕様および製造のための品質管理およびプロセス開発での使用を目的としています。
参照されるSEMI規格なし。
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