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SEMI F34 - 液体化学パイプのラベル貼付ガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1998年9月に出版されました。
この文書は、半導体製造施設および装置で使用される液体プロセス化学薬品配管システムのラベルを表示するための推奨スキームを確立します。
一貫したラベル システムにより、配管内容の迅速な識別が容易になり、各企業や地域が独自のガイドを作成する必要がなくなるため、業界内の混乱が回避されます。
このガイドは、半導体製造プロセスの液体プロセス化学配管システムに通常見られるコンポーネントに適用されます。次の含まれるコンポーネントのリストはすべてを網羅したものではありません。
・配管
• バルブ
• フィルター
• レギュレーター
• チューブ
参照されるSEMI規格なし。
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