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SEMI F27 - 大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) によるガス分配システムおよびコンポーネントの水分相互作用および含有量の試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的なガス委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1997 年 9 月に出版されました。以前は 2003 年 11 月に出版されました。
この試験では、除去可能な水分の量と、ガス分配システムおよびコンポーネントの微量濃度の気相水分との相互作用の程度を測定します。大気圧イオン化質量分析法 (APIMS) は、基本的に ppt 水分分析が可能な市販の唯一の方法であり、応答時間が優れているため、現在このような試験に最適な技術です。この方法は、現時点では市販されていない APIMS に対する同様の検出限界と応答時間を持つ他の技術を適用するためのガイドラインを提供する可能性があります。
このテストの結果は、システムとコンポーネントの定性的なランク付けに使用でき、また、十分に熟練したユーザーであれば、配電システムの動作の数値シミュレーションの入力として使用することもできます。
参照されるSEMI規格SEMI C15 — ppm および ppb 湿度標準の試験方法
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