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SEMI F31 - バルク化学物質分配システムのガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な液体化学技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 12 月 20 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2013 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1998年6月に出版されました。
注意: この文書は 2012 年に完全に書き直されました。
このガイドでは、バルク化学品供給システム (BCDS) のコンポーネントを定義し、BCDS に共通する基本的な設計要素とオプションの設計機能について説明します。
このガイドは、半導体製造施設でウェーハ製造プロセスに薬液を供給するために使用される BCDS に適用されます。
参照されるSEMI規格SEMI E49 — 高純度配管システムの標準性能、実践方法、サブアセンブリおよび半導体製造装置の最終アセンブリに関するガイド
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
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