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SEMI F32 - 高純度遮断バルブの流量係数を決定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この試験方法では、気体と液体に適切なサイズのバルブを選択する際に使用される 2 つの基準を決定する方法について説明します。
この方法でテストされたバルブ全体の圧力降下の正確な計算を支援するために、方法と方程式が指定および/または参照されます。
この方法は、ANSI/ISA-S75.02 で指定されている 2 つの係数を決定するためのテスト基準を確立します。
- バルブ流量係数 ( C v )
- 臨界圧力損失比係数 ( x T )
このメソッドは ANSI/ISAS75.02 で使用されます。この方法は、半導体製造施設で使用されるガスと液体の両方の分配システムで使用される手動バルブと作動バルブに適用されます。既存の試験方法を参照し、試験条件に制限を加えた試験方法です。流量係数、チョーク流パラメータ、圧力損失を計算するための具体的な式については、該当する ISA セクションを参照してください。
参照されるSEMI規格
なし。
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