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SEMI F26 - グレード 10/0.2 有毒特殊ガスの粒子濃度の仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 6 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 1 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1997年6月。以前は 2012 年 7 月に出版されました。
この文書の目的は、10/0.2 グレードの有毒特殊ガスの最大許容粒子濃度を設定し、その検証のための参考方法を説明することです。
この文書は、特殊ガス システムを通じて最大 8 × 105 Pa (8 気圧) の圧力で供給される有毒ガスにのみ適用されます。この方法は、8 × 105 Pa (8 気圧) を超える圧力の高圧シリンダーからの直接サンプリングには適していません。この文書は以下のガスにのみ適用されます。
• アンモニア (NH 3 )
• アルシン (AsH 3 )
• ホスフィン (PH 3 )
参照されるSEMI規格なし。
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