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SEMI F36 - ガス分配コンポーネントの寸法と接続に関するガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 8 月 22 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2013 年 9 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1993 年に発行されました。以前は 2004 年 11 月に出版されました。
このガイドの目的は、ガス分配システム内で使用されるコンポーネントの寸法および機械的/電気的接続属性を標準化することです。これらのコンポーネントのインターフェースを標準化することで、ガス分配システムのコンポーネントの互換性が可能になります。フィルター/精製器、遮断バルブ、圧力調整器、MFC/MFM、圧力トランスデューサーは、交換可能なガス分配コンポーネントの種類です。
このガイドは、動作圧力が 345 kPa (50 psi) 以下の 1/4 インチ分配システムでの使用を対象としています。
ガイドには次の項目が含まれています。
各コンポーネントに固有の物理的特性。これらには、コンポーネントの一般化された図面、各タイプの端接続の特定の端から端までの長さ、最大エンベロープ寸法、ベースから中心線までの寸法、公差、および底面取り付け情報が含まれます。
該当する場合、各コンポーネントに固有の電気接続。これらには、ピン配置とコネクタの種類が含まれます。
参照されるSEMI規格なし。
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