Japan Store
SEMI F25 - グレード 10/0.2 酸化剤特殊ガスの粒子濃度の仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 1 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は1997年6月。以前は 2012 年 7 月に出版されました。
この文書の目的は、10/0.2 グレードの酸化剤特殊ガスの最大許容粒子濃度を設定し、その検証のための参照方法を説明することです。
この文書は、特殊ガス システムを通じて最大 8 × 105 Pa (8 気圧) の圧力で供給される酸化剤ガスにのみ適用されます。この方法は、8 × 105 Pa (8 気圧) を超える圧力の高圧シリンダーからの直接サンプリングには適していません。この文書は以下のガスにのみ適用されます。
• 酸素 (O 2 )
• 亜酸化窒素 (N 2 O)
• 三フッ化窒素 (NF 3 )
参照されるSEMI規格SEMI C6.2 — パイプラインガスとして供給されるグレード 20/0.02 酸素の粒子仕様
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件