SEMI F69 - ガス供給システムの輸送および衝撃試験の試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 8 月 22 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2013 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能です。初版は 2002 年 3 月に出版されました。以前は 2008 年 7 月に出版されました。

E この規格は、2017 年 10 月に編集上修正されました。手順マニュアルの付録 4 に従って、不適合なタイトルを修正するために変更が行われました。

この文書は、振動および衝撃試験を通じてガス供給システムの機械的完全性を評価するための試験方法を提供します。

ここで推奨される試験方法は、半導体処理用のガス供給システム (従来型および表面実装を含む) の振動 (輸送シミュレーション) および衝撃試験を提供します。

ここで推奨される試験方法は、輸送用に木箱に入れられたり梱包されていないガス供給システムに適用されます。具体的には、試験方法は、板金筐体の有無にかかわらず、組み立てられ相互接続されたガス供給コンポーネントおよびそれらに関連する取り付けパネル (バックプレーン) に適用されます。

このガイドラインの目的では、輸送時の振動とそのシミュレーションは、使用中の振動レベルよりも厳しいことが予想されます。したがって、輸送シミュレーション試験は、ガス供給システムの輸送およびライフサイクル振動応力の両方に対して適切な機械的完全性を評価するために許容できると考えられます。

衝撃テストの目的は、開梱、設置、または現場での使用中に受ける衝撃によって生じる可能性のある機器の誤動作をさらに評価することです。

ここで推奨されるテストの正常な完了は、ガス供給システムのアーキテクチャ、設計、および組み立て技術の機械的完全性の推奨基準となります。

SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様

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