Japan Store
SEMI F112 - キャビティリングダウン分光法 (CRDS) による表面実装型および従来のガス供給システムの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書では、次の手順について説明します。 水分のドライダウン特性（除去できる量）の決定 表面実装（統合ガス供給システム）と従来の キャビティリングダウン分光法 (CRDS) 分析装置を使用したガス供給システム。
このテストの結果は定性的な分析に使用できます。 設計に基づいたガス供給システムのランキング。 十分に洗練されたユーザーでも使用できます。 ユーザーは、 ガス分配システムの動作の数値シミュレーションの入力として使用します。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C15 — ppm および ppb 湿度標準の試験方法
SEMI F1 — 高純度ガス配管のリーク完全性に関する仕様 システムとコンポーネント
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件