SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F09600 - SEMI F96 - CVD前駆体を含むキャニスターのポート構成の仕様
SEMI F96 - CVD前駆体を含むキャニスターのポート構成の仕様 通常価格¥49,500 JPY セール価格¥31,800 JPY
F09600 - SEMI F96 - 液体CVD原料を入れるキャニスターのポート設定のための仕様
F09700 - SEMI F97 - 施設パッケージの統合、監視および制御の仕様
SEMI F97 - 施設パッケージの統合、監視および制御の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F09800 - SEMI F98 - 半導体プロセスにおける再利用水の処理に関するガイド
F09800 - SEMI F98 - 半導体プロセスにおける用水再処理のためのガイド
SEMI F98 - 半導体プロセスにおける用水再処理のためのガイド セール価格Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100
F09900 - SEMI F99 - メートル法 PFA チューブ用ダイヤフラム バルブの寸法仕様
F10000 - SEMI F100 - メートル法PFAチューブ用ダイヤフラムバルブの最小流量係数の適合性試験方法
F10100 - SEMI F101 - ガス供給システムにおける圧力調整器の性能を決定するための試験方法
F10100 - SEMI F101 - ガス分配システムの圧力レギュレータの性能を決めるための試験方法
F102000 - SEMI F102 - 表面実装ガス分配システムのコンポーネントの寸法の仕様を選択するためのガイド
F10300 - SEMI F103 - 液体化学物質を収容するステンレス鋼キャニスターのサイズ範囲の仕様
F10300 - SEMI F103 - ステンレススチール製液体原料容器(キャニスター)の形状の仕様
F10400 - SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるコンポーネントの粒子寄与率を評価するための試験方法
F10400 - SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品配分システムに使用されるコンポーネント評価のための粒子クル試験方法ガイドライン
F10500 - SEMI F105 - ガス供給システムにおける金属材料の適合性に関するガイド
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