SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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F10600 - SEMI F106 - ヘリウムリークディテクタによるガス供給システムのリーク完全性を判定するための試験方法
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
F10700 - SEMI F107 - プロセス機器アダプタープレートのガイド
SEMI F107 - プロセス機器アダプタープレートのガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F10800 - SEMI F108 - 半導体、フラットパネルディスプレイ、太陽電池製造アプリケーション向けの液体化学配管コンポーネントの統合に関するガイド
F10900 - SEMI F109 - ヒーターシステム要件ガイド
SEMI F109 - ヒーターシステム要件ガイド セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F11000 - SEMI F110 - 単分散ポリスチレンラテックス (PSL) の試験方法 液体フィルターの課題
F11100 - SEMI F111 - 機器ファンフィルターユニット (EFFU) 粒子除去の試験方法
SEMI F111 - 機器ファンフィルターユニット (EFFU) 粒子除去の試験方法 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,800
F11200 - SEMI F112 - キャビティリングダウン分光法 (CRDS) による表面実装型および従来のガス供給システムの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法
F11300 - SEMI F113 - ガス供給システムで使用される圧力トランスデューサの試験方法
F11400 - SEMI F114 - 超高純度化学物質供給システムおよびコンポーネントの湿潤表面に存在する有機汚染物質を測定するための試験方法
F11500 - SEMI F115 - 超高純度化学物質供給システムおよびコンポーネントの接液面に存在する金属元素を測定するための試験方法
F11600 - SEMI F116 - 現場での水の再利用をサポートする半導体製造ツールの排水分離ガイド
F11700 - SEMI F117 - 1.125 インチ タイプ表面実装ガス分配システム用のサンドイッチ コンポーネントの寸法仕様
F11800 - SEMI F118 - ガス供給コンポーネントの水分ドライダウン特性を測定するための試験方法
F11900 - SEMI F119 - 塩化第二鉄溶液を使用した腐食性ガスシステムで使用されるステンレス鋼表面の臨界孔食温度を決定するための試験方法
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