SEMI F116 - 現場での水の再利用をサポートする半導体製造ツールの排水分離ガイド -

Abstract

このガイドでは、次の定義と推奨事項を提供します。 半導体内での水の再利用を可能にするドレン分離の設計 製造施設。共通の基盤を確立することを目的としています。 設計仕様の作成と計画と設計に関する意思決定 水再利用システムの開発。このガイドには水に関する影響も含まれています システム構成を回収して再利用します。

このガイドは半導体業界での使用を推奨します。 特定のツールおよびサイト固有のツールを開発するための工場エンジニアとサプライヤー ツールのインストール作業に使用される設計および構築ドキュメント、および 隔離の決定。

このガイドは、排水および収集システムに適用されます。 半導体製造装置、水を供給してさまざまな用途に再利用 アプリケーション。このような用途には、使用時点 (POU) リサイクル、 二次使用水を超純水 (UPW) のフロントエンドに送ります。 システム、冷却システム、スクラバー、POU 軽減、熱プロセスなど 灌漑に関しては。再利用スキームの選択は、 水、アプリケーション要件、および適用される環境規制。

このガイドの範囲には、システム、アセンブリ、および 製造ツールと関連インフラストラクチャのコンポーネント 再利用に適したストリームの分離と処理に関与します。与えられた 幅広い再生水の水質と用途、処理 範囲の一部は概念的な定義のみに限定されており、 特定の治療プロセスが含まれます。

このガイドの範囲は、次のような推奨事項を提供することです。 可能な水再利用分離戦略の背景。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E10 — の定義と測定に関する仕様 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) と使用率

SEMI F57 — ポリマー材料およびポリマー材料の仕様 超純水および薬液供給システムで使用されるコンポーネント

SEMI F63 — 半導体で使用される超純水のガイド 処理

SEMI F98 — 半導体産業における水の再利用に関するガイド

SEMI F104 — 粒子評価のための試験方法 超純水・薬液に使用される成分の貢献 配電システム

SEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン 半導体製造装置

改訂履歴

SEMI F116-0821 (初公開)

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