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SEMI F117 - 1.125 インチ タイプ表面実装ガス分配システム用のサンドイッチ コンポーネントの寸法仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この文書は SEMI C88-0815 に代わるものです。
この規格は、製品の物理的寸法を確立します。 フィルター、チェックバルブ、リストリクター、ポートコンバーターおよびその他のコンポーネント 1.125インチタイプの表面実装ガス分配システム。
この規格は、にインストールされているコンポーネントに適用されます。 基板と部品の間にサンドイッチ状または積層状に配置します。
この規格は、提供するための標準寸法を確立します。 同等の機能を持つコンポーネントの互換性。
この規格は 2 つおよび 4 つのファスナーに適用されます 構成。
この規格は、次のようなシステムのコンポーネントにのみ適用されます。 308 kPa (44.7 psia) で 50 slm 窒素当量以下の制御流量。
この規格は、動作中のコンポーネントにのみ適用されます。 20°C で 3445 kPa (500 psia) 未満の圧力。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI F117-1121 (初公開 - SEMI C88 の後継)
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