SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

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Artificial Intelligence (AI) Use Prohibited: You may not use the SEMI Standards, or any portion thereof, as input to any artificial intelligence or machine learning system, or for the purpose of training, testing, or improving any AI model. You also may not use AI to create derivative works, adaptations, or other materials derived from or substantially based on SEMI Standards, including but not limited to annotations, outlines, training materials, reference guides, or transformed versions, in any form or for any purpose. Any violation of this policy constitutes a breach and will result in suspended access to SEMI Standards.

S00800 - SEMI S8 - 半導体製造装置の人間工学エンジニアリングのための安全ガイドライン
S00900 - SEMI S9 - SEMI S22 に移行された半導体製造装置の電気設計検証テストのガイド
S01000 - SEMI S10 - リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S10 - リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥225
Non-Member Price: ¥62,700
S01100 - SEMI S11 - 半導体製造装置のミニ環境に関する環境、安全、および健康に関するガイドライン
S01200 - SEMI S12 - 製造装置の汚染除去に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
S01300 - SEMI S13 - 製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書の環境、健康、安全ガイドライン
S01400 - SEMI S14 - 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
S01500 - SEMI S15 - 有毒ガスおよび可燃性ガス検知システムの評価に関する安全ガイドライン
S01600 - SEMI S16 - 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド
S01700 - SEMI S17 - 無人輸送車両 (UTV) システムの安全ガイドライン
SEMI S17 - 無人輸送車両 (UTV) システムの安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S01800 - SEMI S18 - 可燃性シリコン化合物に関する環境、健康、安全ガイドライン
S01900 - SEMI S19 - 製造装置の設置、保守およびサービス担当者のトレーニングに関する安全ガイドライン
S02100 - SEMI S21 - 作業者の保護のための安全ガイドライン
SEMI S21 - 作業者の保護のための安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S02200 - SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥225
Non-Member Price: ¥62,700
S02300 - SEMI S23 - 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、および材料の節約に関するガイド
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