SEMI S14 - 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン -

Abstract

この安全ガイドラインでは、次の点について考慮事項を提供します。 半導体製造装置メーカーの皆様へ 火災に関連する機器や製品のリスクを評価し、軽減する そして燃焼副生成物。

この安全ガイドラインは安全ガイドラインの形式で書かれていますが、 評価ツールは、設計と開発全体で使用することを目的としています。 半導体製造装置のこと。

この安全ガイドラインは、そのような製品のユーザーも使用できます。 機器や他の利害関係者が、記載されている内容を評価および比較するため 各種設備設計や付帯設備の設計・評価におけるリスク 装備や改造。

この安全ガイドラインは、どのようなものかを特定することを目的としたものではありません。 技術（材料や検出システムの選択など）を使用する必要があります。 火災の危険を軽減するため。ただし、これらのガイドラインでは、次のことを推奨しています。 従来のリスク管理階層では、排除、エンジニアリング制御、 管理上の管理、警告、および作業慣行に従う必要があります。

この安全ガイドラインを適切に適用すると、 その結果、残留火災リスクを特定、分析、評価するレポートが作成されます。

この安全ガイドラインは、次の目的で使用される機器に適用されます。 半導体製品の製造、測定、組み立て、テストを行っています。 半導体製造に使用されるクリーンルーム内に設置されることを目的としています 再循環気流内のプロセスまたはエリア。それらはすべてに当てはまります 本明細書で説明する機器のコンポーネント。

この安全ガイドラインは、火災の危険に起因するものに適用されます。 対象機器内にあると、その機器や他の機器に損傷を与える可能性があります。 製品とか施設とか。

この安全ガイドラインでは、次の考慮事項を特定します。 半導体製造装置の火災危険性を評価する手段 リスクを分類し、リスクを軽減する手段。

参照されるSEMI規格

SEMI E10 — の定義と測定に関する仕様 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) と使用率

SEMI E70 — 工具適応プロセスのガイド

SEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン 半導体製造装置

SEMI S7 — 従業員および従業員を評価するための安全ガイドライン 企業の資格の評価

SEMI S10 — リスク評価とリスクに関する安全ガイドライン 評価プロセス

改訂履歴

SEMI S14-0521 (技術改訂)

SEMI S14-1016 (技術改訂)

SEMI S14-0309 (技術改訂)

SEMI S14-0704 (技術改訂)

SEMI S14-1103 (技術改訂)

SEMI S14-1102 (技術改訂)

SEMI S14-0200E (編集改訂版)

SEMI S14-0200 (初公開)

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