SEMI S17 - 無人輸送車両 (UTV) システムの安全ガイドライン -

Abstract

この安全ガイドラインは、無人輸送車両 (UTV) システムに関する一連の安全上の考慮事項を目的としています。 UTV システムは、半導体またはフラット パネル ディスプレイ (FPD) の工場または研究所内での材料の移動を自動化するために使用されます。 UTV システムには、床走行車 (FTV) システムと天井走行車 (OTV) システムの両方が含まれます。

この安全ガイドラインは、半導体または FPD 製造で使用される UTV および UTV システムに適用されます。

この安全ガイドラインは、床走行と頭上走行の両方の UTV および UTV システムに対応しています。 FTV システムには、無人搬送車 (AGV) システムと有軌道搬送車 (RGV) システムが含まれます。 OTV システムには、オーバーヘッド シャトル (OHS) システムとオーバーヘッド ホイスト トランスポート (OHT) システムが含まれます。

この文書への適合性の評価は、レール、コントロールパネル、電源パネル、メンテナンス/サービススペースからのOHTまたはOHSのリフター、および運用、メンテナンスに必要なその他のタイプの機器などの個別のアイテムを含む、すべてのUTVおよびUTVシステムに対して実施する必要があります。またはUTVのサービス。

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