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SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この安全ガイドラインは、設計ベースの一連の安全ガイドラインを提供します。 で使用される生産装置の電気的安全性に関する考慮事項 半導体産業。基本的な製品の安全性に関する懸念は、 この安全性で定められた設計、構造、およびテストの原則を満たしていること 感電や火災の危険から保護するためのガイドライン。その意図は、 双方に役立つデザインベースの電子ドキュメントを提供する 設計エンジニアと評価者は、電気的安全性を促進するために、 設備。
この安全ガイドラインでは、 生産設備向けの一連の設計ベースの電気安全考慮事項 半導体産業で使用されています。
基本的な製品の安全性に関する懸念 設計、構築、テストの原則を満たすことで対処可能 この文書に記載されている、または適用される要件を満たすことによって、 電気安全規格。
この安全ガイドラインが適用されます 半導体製造装置まで。
このセーフティに含まれるもの ガイドラインは、電気安全インターロックの設計上の考慮事項です。 電気的および非電気的な安全上の危険から保護します。と 電気的安全上の危険から保護する非電気的インターロック。
この文書は以下に適用されます。 製造、測定、組み立て、および製造に使用されるすべての機器の電気設計 特に除外されない限り、半導体製品をテストしてください。見る §
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