Japan Store
SEMI S11 - 半導体製造装置のミニ環境に関する環境、安全、および健康に関するガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この安全ガイドラインは、世界的な環境・健康・安全委員会によって技術的に承認されています。この版は、2006 年 8 月 24 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2006 年 10 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1996 年に発行されました。
注意: この文書は 2006 年に投票され、撤回が承認されました。
これらのガイドラインは、半導体製造で使用されるミニ環境に対する、パフォーマンスに基づいた環境、健康、および安全性に関する最小限の考慮事項として意図されています。これらのガイドラインは、SEMI S2 を補足することを目的としています。
参照されるSEMI規格SEMI S2 — 半導体製造装置の安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学/ヒューマンファクターエンジニアリングの安全ガイドライン
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件