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SEMI S13 - 製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書の環境、健康、安全ガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この安全ガイドラインは、装置の操作、保守、設置におけるリスクを軽減するために、製造装置で使用するために提供される文書 (操作、保守、設置、安全マニュアルなど) における環境、健康、安全に関する情報についての考慮事項を示しています。
機器の操作、保守、サービス、設置、除染、または廃止を行う担当者は、機器のユーザーに提供され、実行するタスクについて説明した文書を読む必要があります。
この安全ガイドラインは、製品の製造、測定、組立、および試験のための装置とともに使用するために装置の使用者に提供される文書に適用されます。
参照されるSEMI規格
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境衛生および安全性ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S12 — 製造装置の汚染除去に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S16 — 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド
SEMI S26 — FPD製造システムの環境衛生および安全性ガイドライン
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