Japan Store
SEMI S9 - SEMI S22 に移行された半導体製造装置の電気設計検証テストのガイド -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な環境・健康・安全委員会によって技術的に承認されました。この版は、2010 年 12 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 2 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1995 年に出版されました。以前は 2007 年 3 月に出版されました。
この文書の目的は、すべての技術内容が SEMI S22 に組み込まれていることを示す SEMI S9 の永久的取り消し通知を提供することです。
参照されるSEMI規格
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件