SEMI S18 - 可燃性シリコン化合物に関する環境、健康、安全ガイドライン -

Abstract

この安全ガイドラインは、環境安全衛生グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 5 月 22 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2002 年 11 月。以前は 2012 年 3 月に出版されました。

この安全ガイドラインは、可燃性シリコン化合物の供給から除害までの保管、取り扱い、および使用に関する安全と健康に関する最低限の基準を示すことを目的としています。

この安全ガイドラインは、半導体、FPD、PV 製造装置、および可燃性シリコン化合物を処理に使用するその他の装置の安全および健康に関する最小限の設計基準としても意図されています。

この安全ガイドラインの範囲内にある可燃性シリコン化合物を表 1 に示します。

表 1 に含まれる可燃性シリコン化合物を含む可燃性混合物も、この安全ガイドラインの範囲内です。

この安全ガイドラインの一部のセクション、および付属の補足資料の一部では、テキストの右側の列は、テキストがどの可燃性シリコン化合物に適用されるかを示しています。これらの列のヘッダーでは、「CG」は「圧縮ガス」を示し、「LG」は「液化圧縮ガス」を示し、「L」は「液体」を示します。そのような列がない場合、この資料は、この文書の範囲に含まれるすべての可燃性シリコン化合物に適用されます。

SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様
SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI F6 — 有害ガス配管システムの二次封じ込めに関するガイド
SEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S4 — 調剤キャビネットに含まれる化学シリンダーの分離に関する安全ガイドライン
SEMI S5 — ガスシリンダーバルブの流量制限装置のサイズ設定と識別に関する安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する環境、健康、安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン

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