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SEMI S15 - 有毒ガスおよび可燃性ガス検知システムの評価に関する安全ガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この安全ガイドラインは、世界的な環境衛生安全委員会によって技術的に承認されています。この版は、2007 年 4 月 25 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2007 年 6 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2000 年 2 月に出版されました。
注意: この文書は 2007 年に投票され、撤回が承認されました。
このガイドラインは、工場従業員、製品と材料、地域環境およびコミュニティの安全を監視するために使用される固定ガス検知システムの評価に関する考慮事項を提供します。有毒ガスや可燃性ガスが気体または液体の状態で使用および保管される施設や機器に適した評価ガイドと参照情報源を提供します。
参照されるSEMI規格
SEMI E33 — 半導体製造施設の電磁両立性に関する仕様
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