SEMI S23 - 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、および材料の節約に関するガイド -

Abstract

E この規格は、2022 年 2 月に編集上、次のように修正されました。 いくつかのセクションを修正します。 § 6、表 A1-3、および表 A1-4 に変更が加えられました。

このガイドでは、エネルギー、公共事業、 半導体製造装置（SME）の材料使用効率。

このガイドは、次の目的で使用できるツールとなることを目的としています。 中小企業によるエネルギー、公共事業、資材の使用を分析します。

このガイドでは、エネルギーに関連する測定についても説明します。 中小企業におけるユーティリティと資材の使用。

このガイドでは、継続的な改善計画についても説明します 効率を促進するため、中小企業におけるエネルギー、公共事業、資材の使用を支援します。

このガイドは、一連のオプションと手順を目的としています。 の分野で利用可能なテクニックに対する読者の認識を高めるため エネルギー、公共事業、材料の使用効率。特定の行動方針 エネルギー、公共事業、材料使用量の測定に提案されており、 使用測定値を等価エネルギーに変換します。

このガイドでは、エネルギーを報告する方法について説明します。 中小企業における資材使用率と効率の向上。

このガイドでは、エネルギー等価値の使用も推奨しています。 中小企業に関連する全体的なエネルギー消費量の定量化を容易にするため エネルギー効率改善の計画も行います。

さらに、このガイドでは、次の目標の設定について説明します。 公共事業、資材、エネルギーの使用や効率を検証し、改善すること。

このガイドでは、プロセス、アイドル、休憩、スリープについて説明します。 中小企業のライフサイクルの使用段階のモード。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメンテーション

SEMI E10 — の定義と測定に関する仕様 機器の信頼性、可用性、保守性 (RAM) と使用率

SEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン 半導体製造装置

改訂履歴

SEMI S23-1021E (編集改訂版)

SEMI S23-1021 (技術改訂)

SEMI S23-1216E (編集改訂版)

SEMI S23-1216 (完全な書き直し)

SEMI S23-0813 (技術改訂)

SEMI S23-0311 (技術改訂)

SEMI S23-0708 (技術改訂)

SEMI S23-0705 (技術改訂)

SEMI S23-0305 (初公開)

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