SEMI S10 - リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン -

Abstract

この安全ガイドラインは、次の一般原則を提供します。 危険を特定するためのリスク評価、リスク推定、およびリスク評価 半導体装置のライフサイクル。サプライヤーによる使用を目的としています EHS を考慮する際の参考として購入者に提供してください。このセーフティを利用することで、 ガイドライン、サプライヤーとユーザーはリスク軽減を特定して実行できます より安全な作業環境を作るためのシステムです。

この安全ガイドラインの目的は、次のことを確立することです。 危険の特定を可能にするリスク評価の一般原則、 一貫した実践的な方法でのリスク推定とリスク評価。の この文書は、設備のリスク評価を実行するためのフレームワークを提供します。 半導体および同様の産業向けであり、サプライヤーによる使用を目的としています。 EHS を考慮する際の参考として購入者に提供してください。

この安全ガイドラインの使用は、次のことを支援することを目的としています。 リスクに優先順位を付けて管理するための戦略の開発。

この安全ガイドラインは以下に適用されることを目的としています。 機器のライフサイクルを考慮したリスク評価。

この安全ガイドラインでは、危険の特定について概説しています。 リスク推定とリスク評価プロセス。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン 半導体製造装置

SEMI S14 — 火災リスク評価と安全に関するガイドライン 半導体製造装置に対する緩和策

改訂履歴

SEMI S10-1119 (技術改訂)

SEMI S10-0815E (編集改訂版)

SEMI S10-0815 (技術改訂)

SEMI S10-0215 (技術改訂)

SEMI S10-0115 (技術改訂)

SEMI S10-0307E (編集改訂版)

SEMI S10-0307 (技術改訂)

SEMI S10-1103 (完全な書き換え)

SEMI S10-1296 (初公開)

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