SEMI S16 - 耐用年数終了時の環境影響を低減するための半導体製造装置設計ガイド -

Abstract

この規格は、環境・健康・安全グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 6 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2000 年 6 月に出版されました。以前は 2007 年 3 月に出版されました。

注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この文書は、半導体製造装置 (SME) またはそのコンポーネントの寿命終了を考慮して、環境への影響を最小限に抑えるための設計ガイドを提供します。

このガイドでは、中小企業や耐用年数終了時のコンポーネントの廃棄による環境への影響を最小限に抑えるための設計上の考慮事項について説明します。

このガイドでは、SME またはそのコンポーネントの再利用またはリサイクルを促進するための設計上の考慮事項について説明します。

このガイドには次の項目が含まれています。

• 目的
• 範囲
• 制限事項
• 参照された規格および文書
• 用語
• 一般的な概念
• 材料の選択
• 再利用可能性またはリサイクル可能性の識別
• 再利用性またはリサイクル性を考慮した設計
• 設備供給者が用意する書類

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S12 — 機器の除染に関するガイドライン
SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン

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