SEMI Standards

SEMI International Standards form the foundation for innovation in the microelectronics industry. The SEMI Standards process has been used to create more than 1,000 industry approved Standards and Safety Guidelines, based on the work of more than 5,000 volunteers in key topics including safety, materials, packaging, traceability and cybersecurity. For 50 years, SEMI Standards have helped reduce manufacturing complexity, which enables customer cost reduction, improved supplier quality, and shorter time-to-market. Each year, more than 1,000 companies purchase and use SEMI Standards to improve manufacturing operations.

Individual SEMI Standards

Individual SEMI Standards are available for immediate download. You may view the abstract of a Standard before purchasing. SEMI Standards currently use PDF file format and are DRM-protected, which requires Adobe Acrobat Reader and the FileOpen Plug-In. Refer to the DRM FAQs for details.


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S02400 - SEMI S24 - 複数雇用主の作業場に関する安全ガイドライン
SEMI S24 - 複数雇用主の作業場に関する安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S02500 - SEMI S25 - 過酸化水素の保管および取り扱いシステムの安全ガイドライン
S02600 - SEMI S26 - FPD 製造システムの環境、健康、安全ガイドライン
SEMI S26 - FPD 製造システムの環境、健康、安全ガイドライン セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
S02700 - SEMI S27 - 環境、安全、健康 (ESH) 評価レポートの内容に関する安全ガイドライン
S02800 - SEMI S28 - 半導体製造装置での使用を目的としたロボットおよびロードポートの安全ガイドライン
S02900 - SEMI S29 - フッ素化温室効果ガス (F-GHG) 排出の特性評価と削減のためのガイド
S03000 - SEMI S30 - 半導体の研究開発および製造プロセスにおける高エネルギー材料の使用に関する安全ガイドライン
T00200 - SEMI T2 - 二次元ドットマトリクスによるウェーハのマーキング仕様
SEMI T2 - 二次元ドットマトリクスによるウェーハのマーキング仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
T00300 - SEMI T3 - ウェーハボックスラベルの仕様T00300 - SEMI T3 - ウェーハボックスラベルの仕様
SEMI T3 - ウェーハボックスラベルの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
T00400 - SEMI T4 - 150 mm および 200 mm ポッド識別寸法の仕様
SEMI T4 - 150 mm および 200 mm ポッド識別寸法の仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
T00500 - SEMI T5 - 円形化合物半導体ウェーハの英数字マーキングの仕様
SEMI T5 - 円形化合物半導体ウェーハの英数字マーキングの仕様 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
T00600 - SEMI T6 - 電子データ交換 (EDI) によるテスト結果報告の手順と形式
SEMI T6 - 電子データ交換 (EDI) によるテスト結果報告の手順と形式 セール価格Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900
T00700 - SEMI T7 - 二次元マトリックスコードシンボルを使用した両面研磨ウェーハの裏面マーキングの仕様
T00800 - SEMI T8 - 二次元マトリックスコードシンボルによるガラスフラットパネルディスプレイ基板のマーキング仕様
T00900 - SEMI T9 - 二次元データマトリクスコードシンボルを使用した金属リードフレームストリップのマーキング仕様
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