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SEMI T5 - 円形化合物半導体ウェーハの英数字マーキングの仕様 -
Volume(s):
Traceability
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様の目的は、ウェーハマーキングの一貫性を改善し、自動光学文字認識 (OCR) 装置の性能要件の簡素化を可能にするために、円形化合物半導体ウェーハの英数字マーキングの標準基準を定義することです。
この仕様は、特に名目上円形、平坦、またはノッチ付きの化合物半導体ウェーハについて、英数字コードの幾何学的および空間的制限を定義します。また、個々のウェーハを特徴付けるために使用される基本コードも定義されているため、オペレータによる実用的な解釈が可能になります。この仕様は、この規格に準拠する際に使用される可能性のあるマーキング技術については言及しておらず、また、それらの技術に関連する健康上の問題についても言及していません。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI M12 — ウェーハ前面のシリアル英数字マーキングの仕様
改訂履歴
SEMI T5-1022 (技術改訂)
SEMI T5-1214 (技術改訂)
SEMI T5-1106 (再承認 1111)
SEMI T5-1106 (技術改訂)
SEMI T5-0706 (技術改訂)
SEMI T5-96 (再承認 1104)
SEMI T5-96E (編集改訂版)
SEMI T5-95 (初公開)
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