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SEMI S27 - 環境、安全、健康 (ESH) 評価レポートの内容に関する安全ガイドライン -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この安全ガイドラインは、環境安全衛生グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2009 年 12 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2010 年 2 月に www.semi.org で入手可能になります。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書の目的は、SEMI 安全ガイドラインに準拠した製造装置 (ME) の評価を文書化した評価レポートの一貫性と読みやすさを向上させることです。
この文書は、SEMI 安全ガイドラインへの適合性に関する ME の評価報告書に適用されます。
参照されるSEMI規格SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S7 — 評価担当者および企業の資格を評価するための安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
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