SEMI T3 - ウェーハボックスラベルの仕様 -

Abstract

この仕様は、高度なトレーサビリティおよび電子データ交換システムに不可欠なデータの通信を容易にするために、ウェーハボックスに印刷された機械読み取り可能なラベルの共通フォーマット、内容、サイズ、および位置を提供します。これらのラベルは、ウェーハのパラメトリック特性に関するあまり詳細な情報を提供しないという点で、一般的な商業慣行で使用されるラベルとは異なります。このような情報は現在、高度なトレーサビリティ システムに簡単に保存されています。

この仕様では、2 つのバーコード シンボルを含むラベルと、それに関連付けられた人間が判読できる解釈について説明します。

この仕様では、バーコード シンボルよりも大幅に多くの情報を収容できる 2 次元データ マトリックス コード シンボルも取り上げます。このシンボルは、既存のトレーサビリティおよびラベル付け手順から、工場全体で共通の読み取り装置を使用できる将来を見据えた包括的で統一されたシステムへのスムーズな移行を実現するために含まれています。データ マトリックス シンボルがバーコード シンボルなしで使用される場合、関連する人間が判読できる解釈が提供されます。

この仕様に従って提供されるラベルは、前開き輸送箱 (FOSB) ラベルと袋ラベルの両方について、SEMI M45 に詳述されている 300 mm ウェーハ輸送システムの特別な要件を満たしています。

この仕様は、直径 100 mm 以上のシリコン ウェーハの保管および輸送に使用されるウェーハ ボックスのラベルのサイズ、メッセージ内容、および記号要件を対象としています。

直径 100 ～ 200 mm のウェーハで使用されるウェーハ ボックスの場合、本仕様書では、ウェーハ ボックスが 2 つの位置のいずれかに保管されているときにウェーハ ボックスの内容物を識別できるように、2 つの同様のラベルを提供します。保管棚の前面と平行、または保管棚の前面と平行なウエハボックスの端と平行である。ウェーハボックスは日常的に積み重ねて保管されるため、ボックスの上部または下部にボックスラベルを貼ることはお勧めできません。

300 mm ウェーハで使用される FOSB の場合、この仕様では 2 つの同一のラベルが規定されており、1 つは FOSB に配置され、もう 1 つは外袋に配置されます。これらの要件は SEMI M45 の要件と一致しています。 SEMI M31 は FOSB の寸法を指定します。

この仕様の対象となるラベルで使用されるメッセージの内容とシンボルの位置は、調査されたウェーハ ボックス上の利用可能な平らな領域のサイズと一致するスペースに収まるように設計されています。使用するウェーハボックス上でより大きな平らな領域が利用できる場合、ラベルのサイズが大きくなり、追加のメッセージ内容が含まれる可能性があります。

この仕様書には、使用されるコード形式の特性の説明が含まれています。

この仕様の対象となるラベルは、箱自体とウェーハパッケージの箱のラップ部分に貼り付けることができますが、ウェーハパッケージの商業輸送に使用される輸送パッケージ (輸送用の外箱) には貼り付けることができません。

バーコードの形式は、ISO/IEC 16388 で指定されている Code 39 に基づいています。

データ マトリックス コードの形式は ISO/IEC 16022 で指定されています。

ウェーハボックスラベルは、ウェーハの生産完了と同時にクリーンルーム環境で貼付されることを目的としています。ラベルを貼り付けるために使用される構造材料と接着剤は、この用途を念頭に置いて選択する必要があることが認識されていますが、その仕様はこの文書の範囲を超えています。

この仕様の寸法は、公称解像度 203 dpi のプリンタで印刷されるラベルに適用されます。より高い解像度のプリンタを使用することもできますが、多くの寸法がこの仕様の寸法と異なる場合があり、コード フィールドが指定されたラベル サイズおよび形式に適合する場合と適合しない場合があります。このような場合、本仕様書の使用者は、ラベルが使用する箱に適合するサイズであることを確認する必要があります。

SEMI M1 — 研磨単結晶シリコンウェーハの仕様
SEMI M12 — ウェーハ前面のシリアル英数字マーキングの仕様
SEMI M13 — シリコンウェーハの英数字マーキングの仕様

SEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械仕様
SEMI M45 — 300 mm ウェーハ出荷システムの仕様
SEMI T7 — 二次元データマトリックスコードシンボルを使用した両面研磨ウェーハの裏面マーキングの仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.