SEMI S26 - FPD 製造システムの環境、健康、安全ガイドライン -

Abstract

注意: この安全ガイドラインは投票され、2022 年に撤回されることが承認されました。
　

この安全ガイドラインは、サブシステムを含む FPD 製造システム (FPDMS) に対する、パフォーマンスに基づいた環境、健康、安全 (EHS) の考慮事項のセットとして意図されています。

適用性— この安全ガイドラインは、FPD 製品とそのサブシステムの製造、測定、組み立て、テストに使用される FPDMS に適用されます。

セクションごとの要件の優先順位— この安全ガイドラインの異なるセクションの規定間に矛盾がある場合、技術的な問題に具体的に対処するセクションまたはサブセクションが、より一般的なセクションまたはサブセクションよりも優先されます。

参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント
SEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド
SEMI F14 — ガス源機器エンクロージャの設計ガイド
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S7 — 人材の評価および会社の資格の評価に関する安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S13 — 製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン

改訂履歴
SEMI S26-0516 (撤回 0123)
SEMI S26-0516 (技術改訂)
SEMI S26-0415 (技術改訂)
SEMI S26-0811 (技術改訂)
SEMI S26-0311 (技術改訂)
SEMI S26-0709 (技術改訂)
SEMI S26-0309 (技術改訂)
SEMI S26-0308a (遅れた改訂)
SEMI S26-0308 (初公開)

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