SEMI S28 - 半導体製造装置での使用を目的としたロボットおよびロードポートの安全ガイドライン -

Abstract

この安全ガイドラインは、環境安全衛生グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 9 月 12 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この安全ガイドラインは、半導体製造装置 (SME) に統合されることを目的としたロード ポートおよびウェーハ ハンドリング ロボットについて、一連の性能および設計に基づく安全上の考慮事項を提供します。この安全ガイドラインは、SEMI S2 の一般的な範囲を超えて、ロードポートおよびウェーハハンドリングロボットのメーカーに追加のガイダンスを提供します。

この安全ガイドラインは、産業用ロボットに適用される他の安全ガイドラインや規格ではカバーされていない可能性のある、中小企業への統合を目的としたロード ポートおよびウェーハ ハンドリング ロボットの重要な安全上の問題をカバーしています。この安全ガイドラインは、統合前のロード ポートとウェーハ ハンドリング ロボットの安全性評価に関するガイダンスを提供します。この安全ガイドラインは、ロード ポートおよびウェーハ ハンドリング ロボットの設計者が、SME への統合中に生じる安全上の考慮事項を予測するのに役立ちます。

この安全ガイドラインは、完成した SME システムの安全性評価のためにインテグレータが必要とする文書の内容に関して、ロード ポートおよびウェーハ ハンドリング ロボットのサプライヤーをガイドします。この安全ガイドラインは、半導体製造装置に組み込まれることをサプライヤーの意図として製造された大気および真空ウエハハンドリングロボットに適用されます。この安全ガイドラインは、フロント オープニング ユニファイド ポッド (FOUP)、標準メカニカル インターフェイス (SMIF) ポッド、およびカセットとインターフェイスし、半導体製造装置に統合するために製造されたロード ポートに適用されます。

この安全ガイドラインには、産業用ロボットの安全規格に加えて、安全に関する考慮事項も含まれています。この安全ガイドラインは、SME とは独立して評価されているウェーハハンドリングロボットとロードポートに適用されます。第 8 条の文書規定は、設計や開発の日付に関係なく、この安全ガイドラインの発行後に販売されるロード ポートおよびウェーハ ハンドリング ロボットに適用されます。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの機械仕様
SEMI E92 — ツール相互運用性規格 (BOLTS/Light) に準拠した 300 mm の軽量およびコンパクトなボックス オープナー/ローダーの仕様
SEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様
SEMI E117 — レチクルロードポートの仕様
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S17 — 無人輸送車両 (UTV) システムの安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
SEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン

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