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SEMI T4 - 150 mm および 200 mm ポッド識別寸法の仕様 -
Volume(s):
Traceability
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様の目的は、ポッド識別タグおよびタグ識別デバイスを取り付ける際の寸法互換性を確保することです。
この仕様の範囲は以下を定義することです。
- ポッド識別タグの取り付けを可能にするポッドの空きスペース、および
- データ送信を可能にする空き領域。
この仕様は、150 mm および 200 mm の標準メカニカル インターフェイス (SEMI E19) に適用されます。 SEMI E47 に基づくポッドの取り扱いに必要なスペースが考慮されます。
参照されるSEMI規格
SEMI E15 — ツールロードポート仕様
SEMI E19 — 仕様 標準メカニカルインターフェース (SMIF) 用
SEMI E47 — 150 mm/200 mm ポッド ハンドルの仕様
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